針對(duì)不同的研究對(duì)象，常常需要采用不同的研究手段，對(duì)于薄膜材料的結(jié)構(gòu)或成分分析的研究也如此。對(duì)于早期的光學(xué)涂層薄膜材料，人們對(duì)其研究主要涉及薄膜的厚度、均勻性以及它的光學(xué)性能。在電子技術(shù)發(fā)展以后，人們對(duì)薄膜的研究相應(yīng)地?cái)U(kuò)展到了薄膜的各種結(jié)構(gòu)特征、成分分布、界面性質(zhì)以及光學(xué)性質(zhì)。目前，隨著薄膜材料運(yùn)用的多樣化，其研究手段和對(duì)象也越來越廣泛。特別是在對(duì)各種微觀物理現(xiàn)象利用的基礎(chǔ)上，發(fā)展出了一系列新的薄膜結(jié)構(gòu)和成分的分析手段，這為薄膜材料的深人研究提供了現(xiàn)實(shí)的可能性。